超高分辨热场发射扫描电子显微镜

一、仪器型号

Zeiss Sigma 500(德国蔡司)

二、主要性能参数

1.图像分辨率：

0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV

2.电子光学系统：

发射源：Schottky型场发射（热场发射）电子源

加速电压范围：调整范围：20 V～30 kV

放大倍数：范围10x～1000,000x

扫描方式：全帧、选区、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜补偿。

3.样品室及样品台

样品是内部尺寸：358 mm内径，270.5 mm高

4.探测器：

镜筒内（In-lens）二次电子探测器

背散射电子探测器

样品室二次电子探测器

三、应用领域

岩石、土壤、断层泥以及自然界各种介质中的纳微米物质进行大量的物质形态、结构、成分等的原位和高精度观测。