超高分辨热场发射扫描电子显微镜
发布时间:2019-01-17
仪器型号：
Zeiss Sigma 500(德国蔡司)
主要性能参数：
1.图像分辨率：
0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV
2.电子光学系统：
发射源：Schottky型场发射（热场发射）电子源
加速电压范围：调整范围：20 V～30 kV
放大倍数：范围10x～1000,000x
扫描方式：全帧、选区、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜补偿。
3.样品室及样品台
样品是内部尺寸：358 mm内径，270.5 mm高
4.探测器：
镜筒内（In-lens）二次电子探测器
背散射电子探测器
样品室二次电子探测器
应用领域：
岩石、土壤、断层泥以及自然界各种介质中的纳微米物质进行大量的物质形态、结构、成分等的原位和高精度观测。
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